自适应微动补偿平台

自适应微动补偿由压电陶瓷促动器驱动，选用高负载堆叠型压电陶瓷促动推杆，具备更高的致动力和机械刚度，更加匹配驱动自适应补偿机构。压电致动也存在一些限制，比如只有10至数百微米之间较小的行程，随着行程增加制造和采购成本会变得非常高昂。另外压电陶瓷本身是脆性的，必须避免拉伸和剪切力。三个方向的压电推杆都通过相应的设计措施防止其承受剪切力。为了保护压电陶瓷，运行时对推杆进行预拉伸，以避免其承受任何拉伸载荷。所有压电促动器都内置应变计，确保每个方向的促动位移与系统所需的理论驱动位移一致。